FTIR 气体分析仪

MultiGas 2031 纯度 FTIR 气体分析仪，用于实时痕量杂质检测

MultiGas™ FTIR 气体分析仪 2031 型是一款基于 FTIR 的分析仪，通过检测 NH3、NF3 和 H2 等散装工艺气体中的 ppb 级污染物来确保高气体纯度。该分析仪使用 FTIR 光谱仪、高光通量采样单元和特定应用分析软件来确保气体纯度。这些集成组件确保大宗气体污染物监测的高精度和度。提供多种检测器和气室选项，使分析仪可以根据过程进行定制。

应用

连续监测生产环境中高纯度散装气体中的痕量污染物，包括：

· NH3 中的 H2O、CO、CO2、N2O 和 CH4

· NF3 中的 H2O、CO、CO2、N2O 和 HF

· H2O、CO、CO2、HF、HCl、NH3、CH2Cl2 和 CHCl3 在 H2 中

· N2O 中的 H2O、CO、CO2、CH4 和 NH3

产品系列概览

技术规格

类型

FTIR 分析仪

测量技术

FTIR光谱法

可测量的气体和蒸气

除 N2、H2 和 O2 外的大多数分子

可测量范围

10ppb 和 100% 满量程光谱分辨率之间的满量程浓度设置

光谱分辨率

0.5 - 128cm -1

扫描时间

1-300 秒

探测器

LN2 冷却 MCT、TE 冷却 MCT

吹扫压力

20 psig (1.5 bar)

光谱仪吹扫流量

4 L/min 纯化的超纯 N2

光学吹扫流量

4 L/min 纯化的超纯 N2

压力传感器

MKS Baratron® 电容压力计

吹扫连接

0.25 英寸 VCR® 型

计算机要求

装有 Windows 10 操作系统的台式机或笔记本电脑

沟通

以太网

外壳

19 英寸机架式机箱

尺寸

17.5 x 12.5 x 25.5 英寸（宽、高、深）

电源要求

120 或 240 VAC，50/60 Hz，6 安培

重量

125 磅。(57 公斤)

样品温度

环境温度至 60°C（取决于校准温度）

样品流程

0.2 - 10 升/分钟

样品压力

0.01-8 atm（取决于校准压力